层流洁净棚的送风量一般按室内断面风速确定。

100级垂直层流洁净室洁净棚断面风速不小于0.25m/s；水平层流洁净室断面风速不小于0.35m/s。

乱流洁净室一般按换气次数估算:

1000级洁净室洁净棚不小于50次/h；

10000级洁净室洁净棚不小于25次/h；

100000级洁净室洁净棚不小于15次/h。

万级换气次数≥25次/小时（一般取27-28）；十万级换气次数≥15次/小时（一般17-18）

但是不能盲目按照换气次数进行设计风量，要考虑房间及工艺余热、余湿。否则刚开始风量也许能满足温湿度要求，系统运行一段时间后就不会效果那么好了。