高效空气微粒（HEPA）过滤器以前被称为“高效微粒捕集器”，在第二次世界大战期间（1939年9月1日-1945年9月2日）最初被开发用来防止核反应堆设施排出的废气中的放射性颗粒物。由于具有非常高的过滤效率，HEPA高效过滤器从那时起在工业、医疗、军事等洁净室中就已经成为一种重要的技术。

HEPA高效过滤器的过滤介质由细微玻璃纤维制成，其厚度和质地与吸墨纸非常相似。HEPA高效过滤器一向被认为对所有0.3微米和更大的粒子，其最低颗粒去除率高达99.97％。根据美国肺脏协会的标准要求，称得上是“真正”的HEPA高效过滤器，必须使穿透过滤媒介的粒子比例不得高于万分之三。